全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”
近日,位于杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传出喜讯:作为基地首批签约孵化项目之一,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。(杭州日报)
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